安裝說(shuō)明：
拆箱：
拆箱取出主機(jī)和附件箱時(shí)，不需使用無(wú)塵房間，一旦拆箱后，特別是從密封的塑料袋式小木箱取出每個(gè)單元時(shí)，應(yīng)立即放入無(wú)塵房間。
拆箱程序：
大箱拆開(kāi)后，拆去塑料罩和干燥劑。
拆去主機(jī)周圍的附件箱。
拆去主機(jī)工作臺(tái)四個(gè)腳的連接件，裝上四個(gè)防塵足墊。
用人工抬臺(tái)面版，將主機(jī)移入凈化間要安裝的地方。
2. 安裝和清洗：
1.認(rèn)真清洗各承片臺(tái)和版夾盤(pán)（包括“備件” ），不用備件仍需涂上防銹油，放到備件箱內(nèi)。
2.調(diào)節(jié)工作臺(tái)下面四個(gè)螺桿足的高度，使工作臺(tái)四角高度一致。
3.安裝曝光頭（由我方派人安裝）
用戶拆換汞燈時(shí)注意：①用脫脂棉擦干凈汞燈球面，清洗和安裝汞燈時(shí)，手指不要接觸汞燈球面；②裝汞燈時(shí)，既要將上下接線片壓緊，又要注意不把汞燈扭斷！接線片如果沒(méi)有壓緊，造成汞燈“啟輝”困難，每次換汞燈后，都要進(jìn)行出射光束均勻性調(diào)節(jié)。
4.安裝顯微鏡（由我方派人安裝），注意兩個(gè)單筒顯微鏡垂直于版。
5.電源和氣源的連接
按說(shuō)明書(shū)接上電源、氣源和真空源。
如果用戶光刻間內(nèi)沒(méi)有真空源，還應(yīng)配置TW-2A型真空泵，真空泵不能安裝在凈化間內(nèi)，而應(yīng)安裝在凈化間外，通過(guò)長(zhǎng)真空管引入本機(jī)。