品牌: 興林
        曝光面積: ≥φ230mm
        曝光不均勻性: ≤±10%
        曝光強(qiáng)度: ≥5mw
        曝光分辨率: ≤5μm
                曝光模式: 單面曝光
                 掩膜版尺寸:  3″、4″、5″、6″、7″、8″、9″
                基片厚度: ≤5 mm
                 曝光燈功率: 350W
                曝光定時: 0~999.9秒可調(diào)
                電源: 單相AC 220V 50Hz功耗≤1kW
                潔凈壓縮空氣壓力: ≥0.4Mpa
                真空度: -0.07Mpa~-0.09Mpa
                尺寸: 700×650×1200 (L×W×H)mm
                重量: ~110kg
                發(fā)貨地: 四川成都